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      • URE-2000/35型紫外光刻機
        URE-2000/35型紫外光刻機

        更新時間:2021-07-08

        型號:

        瀏覽量:2578

        URE-2000/35型紫外光刻機,采用三柔性支點實現高精度自動調平;真空接觸自動曝光;樣片升降、調平、接觸、曝光、復位實現自動化控制。
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      • TYG-2000/T2步進投影光刻機
        TYG-2000/T2步進投影光刻機

        更新時間:2021-03-15

        型號:

        瀏覽量:1065

        TYG-2000/T2步進投影光刻機,照明系統:冷光橢球鏡; 350W進口直流高壓汞燈(德國歐司朗); XYZ汞燈調節臺; 光學系統:固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡負透鏡、蠅眼透鏡組(79個透鏡)、i線濾光片、場鏡1、冷光反射鏡1、反射鏡2; 冷卻風扇
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      • DS-2000/14G型光刻機
        DS-2000/14G型光刻機

        更新時間:2023-08-03

        型號:

        瀏覽量:1180

        DS-2000/14G型光刻機該機可采用紫外光、深紫外光、甚至更短波長的極紫外光作為光源,用DMD數字微鏡陣列替代傳統掩模板,采用積木 錯位蠅眼透鏡實現高均勻照明。
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